真空球閥維修前，解除管線壓力并使真空閥門處于打開位置，才能進行拆卸分解操作；防止損傷零件的密封面； 裝配時真空法蘭上的螺栓必須對稱、逐步、均勻地擰緊；真空球閥的新零件在裝配前也需要清洗干凈；不應(yīng)有碎屑、纖維、油脂灰塵及其它雜質(zhì)在真空球閥零件表面或內(nèi)腔。
真空閥門的清潔處理技術(shù)一般指的是真空裝置的結(jié)構(gòu)材料、填裝材料和真空零(部)件的清潔處理。去除或減少污染物將有利于獲得良好真空，增加連接強度和氣密性，提高產(chǎn)品的壽命和可靠性。
真空檢漏技術(shù)在航天、航空、電子工業(yè)、核工業(yè)等領(lǐng)域的應(yīng)用越來越廣泛，真空檢漏顯得十分重要。氦質(zhì)譜檢漏儀通常由真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室及測量電路組成, 其中核心為質(zhì)譜室。質(zhì)譜室又由離子源、分析器、收集器三部分組成。
