超高真空插板閥
超高真空插板閥是通過電磁換向閥改變氣路方向，控制執(zhí)行氣缸驅(qū)動閥板作上下運(yùn)動，達(dá)到閥門的開啟或關(guān)閉。超高真空插板閥門用于接通或切斷真空管路中的氣流。超高真空插板閥適用介質(zhì)為純凈空氣和非腐蝕性氣體。超高真空插板閥帶反饋信號裝置。
超高真空插板閥主要零件材料
閥體、閥板：不銹鋼
密封件：氟橡膠、波紋管(軸封)、丁腈橡膠
超高真空插板閥主要技術(shù)性能
適用范圍：105~1.3×10-7 Pa
閥門漏率：≤1.3×10-7Pa.L/S(DN≤200)；≤6.7×10-7Pa.L/S(DN≤250)
適用溫度：30~+150℃
閥門開啟時(shí)閥板兩側(cè)的壓差：≤2.7×103Pa
超高真空插板閥外形及連接尺寸
