奧斯科閥門(mén)

隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步, 真空檢漏技術(shù)在航天、航空、電子工業(yè)、核工業(yè)等領(lǐng)域的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。空間環(huán)模設(shè)備、高能加速器、核輻射物理裝置、等離子體物理裝置、受控?zé)岷朔磻?yīng)裝置的真空室若有微小的漏孔，無(wú)法獲得超高真空，無(wú)法正常工作，檢漏顯得十分重要，它是真空閥獲得的基礎(chǔ)。為了保持載人飛船的艙內(nèi)壓力，使其長(zhǎng)時(shí)間正常工作，需要通過(guò)檢漏來(lái)精確測(cè)量微小漏率。衛(wèi)星自控系統(tǒng)的燃料如有泄漏，將會(huì)造成衛(wèi)星的飛行失敗，泄漏的燃料和氣體還會(huì)污染衛(wèi)星上的光學(xué)儀器、光敏元件等、使電子原器件的性能變壞，縮短工作壽命，需要通過(guò)檢漏來(lái)堵漏。

在這些真空檢漏中，一般用氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)微小漏孔漏率進(jìn)行定量檢測(cè)，氦質(zhì)譜檢漏儀在使用前需要校準(zhǔn)。氦質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)的主要項(xiàng)目包括:噪音、最小可檢漏率、漏率值校準(zhǔn)、清除時(shí)間等，其中最重要的項(xiàng)目是漏率值的校準(zhǔn)。漏率值校準(zhǔn)通常是在氦質(zhì)譜檢漏儀使用前用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行校準(zhǔn)。但是，目前國(guó)內(nèi)對(duì)于氦質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)只采用單只漏孔單點(diǎn)校準(zhǔn)，由于受檢漏儀線性范圍的影響限制，這種校準(zhǔn)只能適用于某一數(shù)量級(jí)范圍內(nèi)的校準(zhǔn)，而在實(shí)際使用時(shí)經(jīng)常要用到幾個(gè)數(shù)量級(jí)范圍。本文主要研究用一系列不同量級(jí)標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)，通過(guò)校準(zhǔn)擬合公式，校準(zhǔn)范圍可以延伸到全量程。

氦質(zhì)譜檢漏儀通常由真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室及測(cè)量電路組成, 其中核心為質(zhì)譜室。質(zhì)譜室又由離子源、分析器、收集器三部分組成。其一般的氦質(zhì)譜檢漏儀原理是將進(jìn)入質(zhì)譜室中的混合氣體進(jìn)行電離, 形成具有一定能量的離子, 這些離子由于質(zhì)荷比的不同, 在分析器中將按不同軌跡運(yùn)動(dòng)從而彼此分開(kāi), 僅使氦離子在收集極上收集并最終放大顯示 。

溫州奧斯科閥門(mén)科技有限公司可使用氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)真空閥門(mén)系列產(chǎn)品的真空度，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定可靠，歡迎用戶致電0577-67953220詢(xún)問(wèn)銷(xiāo)售服務(wù)人員。

氦質(zhì)譜背壓檢漏的特點(diǎn)之二在內(nèi)腔容積、壓氦壓力、加壓時(shí)間、候檢時(shí)間都相同的情況下, 具有相同測(cè)量漏率的兩個(gè)密閉器件的等效標(biāo)準(zhǔn)漏率可能差別非常大, 即等效標(biāo)準(zhǔn)漏率具有雙值。