真空檢漏技術(shù)在航天、航空、電子工業(yè)、核工業(yè)等領(lǐng)域的應(yīng)用越來(lái)越廣泛，真空檢漏顯得十分重要。氦質(zhì)譜檢漏儀通常由真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室及測(cè)量電路組成, 其中核心為質(zhì)譜室。質(zhì)譜室又由離子源、分析器、收集器三部分組成。
真空檢漏技術(shù)在航天、航空、電子工業(yè)、核工業(yè)等領(lǐng)域的應(yīng)用越來(lái)越廣泛，真空檢漏顯得十分重要。氦質(zhì)譜檢漏儀通常由真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室及測(cè)量電路組成, 其中核心為質(zhì)譜室。質(zhì)譜室又由離子源、分析器、收集器三部分組成。
