在真空術(shù)語里有關(guān)于電弧、電弧管理、CO2 激光、CVD化學(xué)氣相沉積、摻雜、晶體外延生長、半導(dǎo)體、感應(yīng)加熱、感應(yīng)器、離子植入、同軸電纜、同軸變壓器、電容器、匹配箱、磁控濺鍍、低溫等離子體、等離子體激活、等離子體聚合、等離子體熱處理、高溫計等概念解釋。
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